从世纪开始人们对洁净技术已有初步的探索，随着对产品的微型化、高精密度、高纯度及可靠性等各方面的要求的提高，对空气洁净度的要求也随之提高，而且生产技术越发展对洁净度的要求就越高，空气洁净技术及其所需的过滤器也相应诞生并迅速发展。

　　1950年，美国制成了高效能空气粒子过滤器，取得了空气净化技术的首次飞跃，是洁净技术发展史中的第一座里程碑，实现了以0.5m粒径的尘粒数为计数标准来衡量空气洁净度。

　　1961年，美国圣地亚公司在总结了 年代的常规方式洁净室的气流组织存在的一些问题后，研制出美国的第一个单向流洁净室 (当时称为层流洁净室)，这是空气洁净技术的重大突破，这一成果成为空气洁净技术发展史上的第二个里程碑。

　　为加速美国宇航工业的发展，美国相应加速了制订有关污染控制标准的工作，1962年美国颁布了洁净室第一个军用部分的联邦标准(美国国家标准)，从此联邦标准即成为国际上最通行、最著名的洁净室标准。这种状态一直延续到国际标准化组织成立有关洁净室的技术委员会，规范了洁净室与相关受控环境，1999年该委员会出台第一个关于洁净室的标准(空气洁净度分极)。

　　70年代是洁净技术及洁净室应用的普及时期，各国相继制定了工业洁净室空气净化工程指标。