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苏州曼克斯建筑装饰工程有限公司

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行业新闻

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无尘车间定期检测制度

1 为了保证洁净室的洁净度满足工艺要求,必须定期对洁净室内的洁净度进行检测

2 检测测试设备:激光粒子记数器

3 检测周期:每周一上午、下午对各洁净区域进行一次检测

4 检测条件:静态洁净度测试

5 数据收集整理:将每次检测的结果输入电脑中储存,并在每个季度末将洁净度记录图表电子档通发送给各部门

6 各洁净区域洁净级别标准:按照《半导体公司能源管理标准》执行

  区域、系统名称

  洁净等级标准

  相当于ISO级别

  等效于GB级别

  K-1系统 划片区域

  静态1万级

  K-1系统改造前为静态10万级

  CLASS 7

  CLASS 8

  CLASS 7

  CLASS 8

  K-2系统 包封区域

  静态30万级

  CLASS 8.3

  CLASS 8.3

  K-3系统 搪锡区域

  静态30万级

  CLASS 8.3

  CLASS 8.3

  K-4系统 测试区域

  静态30万级

  CLASS 8.3

  CLASS 8.3

  K-8系统 电镀区域

  静态30万级

  CLASS 8.3

  CLASS 8.3

  现有其他空调系统

  舒适性空调系统,无洁净要求

7 洁净室用净化空调系统及设备的维护管理与相应的操作规程、维修制度等(包括净化空调系统和洁净室相关的公用动力系统的设备、管线等管理维护

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